如何去除碳化硅微粉的雜質(zhì)

     隨著碳化硅微粉在各行業(yè)，各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，以及各項(xiàng)高、精、尖端科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展。對(duì)于碳化硅微粉的品質(zhì)和純度也提出了更高的要求。碳化硅微粉的提純，分級(jí)加工的方法，主要是水溢流分選方式。

     由于碳化硅在冶煉和粉碎過(guò)程中不可避免的混入了各種雜質(zhì)，而這些雜質(zhì)在碳化硅微粉的使用過(guò)程中，對(duì)利用碳化硅微粉加工出產(chǎn)品的質(zhì)量和制造的半導(dǎo)體器件的性能都有很大的影響，增加制品的不良品率，降低加工品的表面加工質(zhì)量等等。因此，要把碳化硅微粉中的雜質(zhì)去除。

     其實(shí)，碳化硅中主要含有的雜質(zhì)有碳，三氧化二鐵，三氧化二鋁，氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等等。這些物質(zhì)在碳化硅微粉做不同的用途時(shí)分別產(chǎn)生不同的影響，其中尤其以三氧化二鐵為重。而在碳化硅的生產(chǎn)流程中，主要采取加酸除雜質(zhì)的方法。這種去除雜質(zhì)的方法，成本較低，除雜率高。

     將碳化硅粉碎后，經(jīng)過(guò)二次氣流分級(jí)的碳化硅微粉用軟化水按一定比例配制成攪拌均勻的碳化硅料漿。用渣漿泵把料漿輸送至硫酸反應(yīng)槽，按一定比例加入適量的濃硫酸，加酸后將料漿攪拌均勻，并測(cè)定PH值，使料漿在槽內(nèi)反應(yīng)10小時(shí)以上，從而去除碳化硅微粉中的雜質(zhì)。